通过本课程的学习，使学生具备扎实的集成电路工艺的理论基础、综合的实验技能和创新思想，具有发现问题，分析问题和解决问题的能力。课程的具体目标是：(1)努力做到基础与专业的统一，坚实学生的理论基础。拓宽专业视野，培养学生的创新思想和能力，为后续的专业课的学习打好基础。(2)理论联系实际，加大实验改革力度，使理论教学和实践教学有机融合。使学生具有发现问题，分析问题和解决问题的能力。(3)密切关注微电子技术和产业的发展，整理分析微电子技术的新理论、新工艺、新器件，适时地引入到教学中来，使教学紧紧追踪科学前沿，培养学生的专业兴趣。